TGS 2600 공기질 센서
공기중에 있는 오염물질의 농도를 측정하는 센서입니다. 센서는 최적의 측정 환경을 맞추기 위한 히터(Heater)와 금속산화막반도체(MOS : Metal Oxide Semiconductor)로 구성되어 있습니다. 금속 산화막 반도체 (MOS)의 구조는 반도체 기판위에 이산화 규소 (SiO2)로 된 공핍층과 금속층 (실제로 금속대신에 폴리실리콘이 사용됨)을 쌓아서 얻어진다. 이산화 규소가 유전체(誘電體, dielectric) 물질이므로 평행판 축전기의 두 금속 전극 중에서 하나를 반도체로 대체한 것과 같은